無塵室里存在大量可以節約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。升級的投資收回率通常比直接購買新設備要高很多。大部分工廠設備翻新的投資回收期不超過兩年――也就是說，通常投資收回率至少是50%，對照投資新的固定資產，則只有10%到15%（即投資回收期需要七年時間）。這些情況降低了企業的競爭力和投資股東的興趣。在今天高度發達的工業中，工廠運行和產品設計一樣需要改革。 高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪費的能源比賣產品更能增加利潤，因為節約下來的錢在最終效益中馬上就能體現出來。雖然能源的成本占晶片產品成本占不到百分之二，但是電能卻是晶片制造商在運行中的開支卻是最大的，每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時，節能措施可以節約資本和建造時間。雖然初步設計報價昂貴，但是經濟翻新的可能性仍然存在。設備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。
　　一、 低斷面風速設計 
　　斷面風速就是空氣處理部件中空氣經過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。 
大部分工程師根據“經驗”把空氣處理器設計成500英寸/分鐘。這樣的設計雖然節省時間，但是卻增加了運作費用。在低斷面風速（LFV）設計中，使用更大的空氣處理器和更小的風機，從而降低空氣的流速，降低能耗和設壽命成本。 壓降決定了風機的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風速降低20%，那么壓降將下降36%；如果斷面風速降低50%，壓降將下降四分之三。根據“立方定則”，風機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風機能耗將下降88%。 
因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風機能量，可以使用比較小的風機和馬達。小風機給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風速情況下，工作效果更好、壽命更長。 LFV設計減少了空氣和水的壓降，減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設計，幾乎沒有尖角，從而使壓降減少10%到15%。 LFV設計也可以把壓降降低四分之一。目標是使能量損耗降低至少25%，減小變速風機的大小。最優的斷面風速范圍是250-450英尺/分鐘，具體取決于使用情況和能量消耗。
　　二、換氣次數 
　　潔凈室維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數。流量根據每小時的換氣次數來確定，同時這也決定了風機尺寸、建筑構型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下，空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數降低20%就可以使風機的尺寸降低50%?？諝鉂崈舳缺裙澕s能耗更重要，但是最新的研究成果已經有降低潔凈成本的記載了。 關于最佳換氣次數還沒有達成共識。許多原則都已過時，是建立在老觀念上，采用低效的空氣過濾器。調查顯示，ISO第5級標準的潔凈室推薦的換氣次數變化范圍是從250到700以上。 美國的一所國家實驗室正在確定ISO第5級潔凈室的標準。研究顯示，實際換氣次數范圍是90到250――比操作規程標準低很多，而且不會影響生產和潔凈度。因此建議ISO第5級潔凈室的換氣次數大約是200，保守的上限是300。
　　三、馬達效率 馬達消耗了潔凈室的大部分電能。連續運轉的馬達每月消耗大量的電力。 適當地提高效率、適當地調節尺寸，在翻新后，經濟效果多半是不錯的。效率增加幾個百分點，利潤就可增加。 使用優質高效的馬達，不一定會花費太多。高效率意味著最小，在改變馬達的尺寸之前先盡量減小負荷。在輸出量變化時，利用變速驅動（VSD）可以提高操作效率。 
四、變速驅動的冷凍機 
　　變速驅動冷凍機能節省大量的能量和金錢。許多潔凈室的設計人員和操作人員認為，沒有必要使用變速驅動冷凍機，因為負荷通常是恒定的，多級冷凍機機組通?？刂茷楦哓摵蛇\轉。但是負荷恒定的冷凍機通常工作在滿負荷以下。變速驅動冷凍機通常工作在全負荷的90%-95%以節省能量。一臺1000噸的冷凍機穩定工作在滿負荷的70%，如果使用了變速驅動，每年就可節省兩萬到三萬美元。根據生產商的數據，電能的價格是0.05美元/千瓦時，這樣大約一年就可以回收成本。 多級冷凍機冷水式機組很少高負荷運轉。通常情況下，現場負荷通常不是正好匹配機組的能級變化。許多操作人員運行額外的冷凍機以求可靠，一旦某個冷凍機發生故障，其它的冷凍機可以立刻補充，接替其全部負荷，因此冷水式機組經常是讓冷凍機在制冷能力的60%到80%運轉。在購買新冷凍機的時候，指定購買變速驅動冷凍機是劃算的。用變速驅動冷凍機可降低能耗，同時讓其他冷凍機可靠性運行。有許多的研究和實驗證明，變速驅動冷凍機的效果是很好的。二十多來，變速驅動冷凍機制造廠商制造出更可靠性的產品，用在新建的和升級的潔凈工廠里面。 
　　五、雙溫度冷凍循環 
　　冷凍系統通常設計成可以承受最大負荷，不管最大負荷發生得是否頻繁。流程中處于冷凍循環的冷凍水溫度，是由所有負荷中只占一小部分的極端熱負荷來確定，這只是許多情況中的一兩種。這會造成冷凍能力過剩，在負荷不足的情況下效率低下。當供給的冷凍水的溫度較低時，冷凍機的工作效率也會很低。平均來說，冷凍水的供給溫度每增加一華氏度，冷凍器效率就提高一個百分點以上。如果劃分負荷，提供兩個不同溫度的冷凍水，那么工作效率將會更高。設計人員可以使用并聯循環管路，將他們 成兩個子系統，這樣可以在需要最大冷量的時候，冷凍機可以工作在相對不很苛刻的條件下。用專用冷凍機進行中等溫度的循環（例如55oF到65oF），它的運作是針對冷凍水的溫度進行優化的，可以滿足工廠的大部分需要。另一個較小的高效冷凍機提供溫度較低的循環（例如：39oF到43oF），可以滿足負荷中要求苛刻的部分。這個方案可以迅速增加整個冷凍機機組的效率提高百分之二十五或更多。對于相同容量的冷凍機，高溫工作要比低溫工作花費小得多。 
　　六、冷卻塔的優化 
　　高效冷卻塔通過降低冷凝水的供給溫度來提高冷凍機效率。從冷凍機中每輸出一噸冷凍水，一般的冷卻塔需要100瓦的能量。效率提高可高達十倍，例如采用更為接近入口、出口溫差、更有效的氣流設計、優質高效的配有變速驅動馬達的風機、減少高度以限制泵的揚程以及增加填充面積（選擇大尺寸的塔）等。不同的外界空氣的濕溫度和冷卻水供給溫度，這個溫差有所不同，應該控制在3oF到5oF之間。所有的冷卻塔都應該并聯工作，在表面積增加的情況下蒸發冷卻達到最佳。許多任務廠使用多級塔，它們使用單速或雙速的風機，并且把塔分成不同的階段。一個塔全速運轉直到負荷超過它的承受能力，然后另一個塔開啟，它工作在較低或較高的功率狀態。這個方案可以導致冷卻塔負荷出現較大的、不斷遞增的變化，頻繁地低于或者超過要求的額定值，從而出現鋸齒狀的能耗狀況，降低冷凍機的效率。因而所有的冷卻塔都應該并行工作，在表面積增加的情況下蒸發冷卻達到最佳。如果更多的塔在低速狀態下工作，使用變速驅動調節風機的速度，隨負載變化而調整，根據“立方定律”，在較低的速度下風機可以節省能量。工廠通常采用專門一個冷卻塔為每一個冷凍機供應冷凝水。這種構想不允許冷凍機利用冷卻塔并行運作。只有為冷凝水系統加上普通的集管才允許冷卻塔并行運行，不考慮冷卻要求。